电子工业洁净室FFU结构简介

孔板通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。格栅通过格栅的疏密来调节FFU的出口气流。动力曲线通过曲线的形状来诱导气流的流动，同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。
一、FFU的外观

    目前，全世界所有厂家生产的FFU，从外观上可这样划分:

  1、从形状上分两种，一种是长方体，一种上部为坡形。
  2、从结构上分两种，一种为整体，一种为分体。

    分体形状的FFU有如下优势：
    ① 使过滤器的更换变得方
    ② 减小了安装过程中的劳动强度。

    整体形状的FFU有如下优势：
    ① 增加了FFU的密封性，有效防止了泄漏。
    ② 有利于降低噪音
    ③ 有利于减小振动
 
二、FFU的组成部件

    目前，各种FFU最多由以下几部分组成(按从上到下、从内到外的顺序)，视不同厂家组成部分可能有所减少。

   1、预过滤器     6、气流均衡装置
   2、外壳体      7、过滤器
   3、风管连接部件   8、金属防护网
   4、电机       9、刀缘
   5、叶轮       10、控制元件
 

下面，我们对各个部件进行分析介绍：

一、预过滤器
  一般为可清洗聚胺脂泡沫，主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。

二、外壳体
  组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种，不同厂家和不同的使用环境有不同的选择，厚度大约为1.2~2.0，视厚度情况有些可以载人。

三、风管连接部件
  在洁净级别较低(≤1000级 联邦标准209E)的场合，此时吊顶上部没有静压箱，带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。

四、电机
  目前，交流电机和直流电机在FFU中都有使用，直流电机的体积大，造价高，控制容易实现，能耗较高。交流电机的体积小，造价低，控制需要相应的技术，能耗较低。现在FFU所使用的 电机的寿命大约为4~10万小时不等。一些电机会有相应的技术，如无油润滑，密封轴承，带过热保护，换向器寿命得到显著提高等。

五、叶轮
  叶轮有两种形式，前倾和后倾，前倾有利于增加气流组织的矢向流动，增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗，减小噪音。

六、气流均衡装置
  随着FFU的不断普及，绝大部分厂家都开始装配气流均衡装置，用来调整FFU的出口气流， 从而改善洁净室的气流分布。目前，这种均衡装置大约分为三种：一种为孔板， 主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。一种为格栅，主要通过格栅 的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线，主要通过曲线的形状来诱导气流的流动，同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。

七、过滤器
  FFU所使用的过滤器和洁净厂房所用的其它过滤器一样，这里不再赘述。

八、金属防护网
  金属防护网主要起到对过滤器的保护作用，大部分都防静电。

九、刀缘
  当FFU使用在一些特别的场合时，带刀缘的FFU可使用液槽密封，从而能满足高密封性的要求。

十、控制单元
  FFU的控制可大致分为多档开关、连续调节、计算机控制等几种，同时实现的功能有单台控 制、分区控制、报警、运行状态显示等。