第四节 振动控制

  第3.4.1条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。

  第3．4．2条对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。

  第3．4．3条精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发生量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。


                   第四章 建筑

第一节 一般规定

  第4．1．1条 洁净厂房的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁 净区的主体结构不宜采用内墙承重。

  第4．1．2条 洁净室的高度以净高控制，净高应以100毫基本模数。

  第4．1．3条 洁净厂房主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调， 并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。 厂房变形缝应避免穿过洁净区。

  第4．1．4条 送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹 道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。

  第4．1．5条 对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构 造的处理，应避免在人流与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。

第二节 人员净化和物料净化设施

  第4．2．1条 洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根 据需要设置生活用室和其他用室。

  第4．2．2条 人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣 室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。 厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室， 可根据需要设置。

  第4．2．3条 人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：
    一、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。
    二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和洁净工作服柜应按 设计人数每人设
  一柜。
    三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。
    四、洁净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。
    五、空气吸淋室应设在洁净区人员入口处，并应与洁净工作服室相邻。单人 空气吹淋室按最
  大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时，可改 设气闸室。
    洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。

  第4．2．4条 人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室的布置， 一般按图4．2．4的人员净化程序进行布置。

  第4．2．5条 根据不同的空气洁净度等级和工作人员数量，洁净厂房内人 员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般可按洁净区设计人数平均每 人4～6平方米计算。

  第4．2．6条 洁净工作服室内，对空气净化应有一定的要求。

  第4．2．7条 洁净室的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形 状等待征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料 在传递过程中被污染。


第三节 防火和疏散

  第4．3．1条 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体， 其耐火极限不宜小于0．25小时。

  第4．3．2条 洁净厂房内一般的生产工作间的火灾危险性，可按附录三进 行分类。

  第4．3．3条 甲、乙类生产的洁净厂房，宜采用单层厂房。其防火墙间最 大允许占地面积，单层厂房应为3，000平方米，多层厂房应为2，000平方米。

  第4．3．4条 甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式洁净室， 其顶棚和壁板（包括内部填充物）应为非燃烧体。

  第4．3．5条 在一个防火区内的综合性厂房，其洁净生产与一般生产区域 之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小 时，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0．6小时。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙 应采用非燃烧材料紧密填塞。

  第4．3．6条 技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井 壁上检查门的耐火极限不应低于0．6小时；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应 采用相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线 周围空隙，应采用非燃烧材料紧密填塞。

  第4．3．7条 洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出 口的数量，均不应少于两个。但符合下列要求者，可设置一个安全出口：
    一、甲、乙类生产厂房每层的总建筑面积不用过50平方米，且同一时间内的 生产人员总数不
  用过5人；
    二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行的《建筑设计防火规范》的规定 者。
    安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不用经过曲折的人员净化 路线。

  第4．3．8条 洁净区与非洁净区和洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏 散方向开启。安全疏散门不得采用吊门、转门、侧拉门以及电控自动门。

  第4．3．9条 当洁净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房洁净区的门窗， 其洞口间距大于80米时，则应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。 专用消防口的宽度不应小于750毫米，高度不应小于1800毫米，并应有明显标志。楼层的专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬楼。


第四节 室内装修

  第4．4．1条 洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好， 且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。墙面内装修当需附加构造骨架和保 温层时。应采用非燃烧体或难燃烧体。

  第4．4．2条 洁净室内墙壁和顶棚的表面，应符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便于除尘等要求；应减少凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采用 于操作；如为抹灰时，应采用高级抹灰标
准。

  第4．4．3条 洁净室的地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚 静电、避免眩光、并有舒适感等要求。

  第4．4．4条 洁净厂房技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内 更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。 地面、回风地沟和位于地下的技术夹层，应采用防水或防潮、防霉措施。 建筑风道和回风地沟的内表面装修标准，应与整个送、回风系统相适应，并 应易于除尘。

  第4．4．5条 洁净室和人员净化用室设置的外窗，应采用双层玻璃金属窗，并应有良好的气密性。

  第4．4．6条 洁净室内的密闭门宜朝空气洁净度较高的房间开启。无窗洁 净室的密闭门上宜设观察窗。

  第4．4．7条 洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面的构造和施工缝隙， 均应采取可靠的密封措施。

  第4．4．8条 洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数， 顶棚和墙面宜为0．6－0．8；地面宜为0．15--0．35。


第五节 装配式洁净室

  第4．5．1条 在新建或改建的洁净厂房设计中，对于面积不大、层高较低、 要求空气洁净度较高的生产环境可采用装配式洁净室。

  第4．5．2条 装配式洁净室所在的房间应有空气净化要求，并应与装配式洁 净室的空气洁净度等级相适应。外围建筑的耐火等级不得低于二级。

  第4．5．3条 装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室本身内壁板或支柱支承， 也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑的地面以下。

  第4．5．4条 装配式洁净室设计应满足在该室室内安装壁板的要求。装配 式洁净室的构配件应做到：连接构造的整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、 包装和运输。

  第4．5．5条 装配式洁净室的四周壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外 围建筑的墙壁。紧贴时，壁板与墙壁之间的安装缝隙应封闭；靠近时，应留有清 扫距离。当装配式洁净室时,壁板外侧设有技术夹道时，壁板与外围建筑内墙面 之间净宽不宜小于600毫米。


          第五章 空气净化

第一节 一般规定

  第5．1．1条洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：
    一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。
    二、在满足人生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组级别，宜采用局部工作区空气净化和全
  室空气净化相结合的形式。

  第5.1.2条 层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。

  第5．1．3条洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定：
    一、满足生产工艺要求
    二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26度，温度70度。

  第5．1．4条洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的最大值；
    一、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。
    二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。
    三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。

  第5．1．5条洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。

  第5．1．6条在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。


第二节 洁净室正压控制

  第5．2．1条洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于4.9Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于9.8Pa。

  第5．2．2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：

    Q＝q1·Σ（q·L）      （5.2.2）

    式中：Q--维持洁净室正压值所需的正压风量(米³/时)；
       a--根据围扩结构气密性确定的安全系数，可取1.1～1.2；
       q--当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米³/时·米)；
       L--围扩结构的缝隙长度(米)。

  第5．2．3条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量，可按表5.2.3采用。