经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。目前，该规范在重新修订中。

  GBJ73-84规定的洁净度等级

  等级   每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数   每立方米（升）空气中》5μm尘粒数  

  100   《35*100（〈3.5〉      

  1000   《35*1000（〈35〉   《250（〈0.25〉  

  10000   《35*10000（〈350〉   《2500（〈2.5〉  

  100000   《35*100000（〈3500〉   《25000（〈25〉  

  美国联邦标准FS209E中的洁净等级

  等级名称   等级限值  

  0.1μm   0.2μm   0.3μm   0.5μm   5μm  

  容积单位   容积单位   容积单位   容积单位   容积单位  

  国际单位   英制单位   m   Ft   m   Ft   m   Ft   m   Ft   m   Ft  

  M1.0      350   9.91   75.7   2.14   30.9   0.875   10   0.283   /   /  

  M1.5   1   1240   35.0   265.0   7.5   106   3   35.3   1   /   /  

  M2.0      3500   99.1   757   21.4   309   8.75   100   2.83   /   /  

  M2.5   10   12400   350.0   2650   75   1060   30   353   10   /   /  

  M3.0      35000   991.0   7570   214   3090   87.5   1000   28.3   /   /  

  M3.5   100   /   /   26500   750   10600   300   3530   100   /   /  

  M4.0      /   /   75700   2140   30900   875   10000   283   /   /  

  M4.5   1000   /   /   /   /   /   /   35300   1000   247   7  

  M5.0      /   /   /   /   /   /   100000   2830   618   17.5  

  M5.5   10000   /   /   /   /   /   /   353000   10000   2470   70  

  M6.0      /   /   /   /   /   /   1000000   28300   6180   175  

  M6.5   100000   /   /   /   /   /   /   3530000   100000   24700   700  

  M7.0      /   /   /   /   /   /   10000000   283000   61800   1750