无尘室的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室：

  ⑴天花板系统

  包括吊杆（Ceiling rod）、纲梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

  ⑵空调系统

  包括空气舱、过滤器系统、风车等。

  ⑶隔墙板（Partitional wall)

  包括窗户、门。

  ⑷地板

  包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。

  ⑸照明器具

  包括日光灯、黄色灯管等。

  ⑹无尘室之建筑主体构造

  一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：

  A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；

  B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；

  C.吸湿性小；

  D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；